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飞秒激光快速制备大面积二维微纳结构
采用数字微镜器件(DMD)无掩模光刻技术,以飞秒激光为光源,结合大面积拼接的方法快速制备了具有较高分辨率和毫米尺寸的大面积微纳......
期刊
激光光学
微纳结构
正胶
大面积
数字微镜器件无掩模光刻
边缘粗糙度
laser optics
micro/nanostructure
positive pho
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